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          半導(dǎo)體等行業(yè)超純水系�(tǒng)的基本設(shè)計指�

          來源�純水�(shè)�  作者:南京萊弗特環(huán)??萍脊?/a>  日期�2020-11-09 09:17:26  瀏覽量:776�

          超純水之定義


          DI=Deionized?,?DI?Water?=?Deionized?Water,為去離子之�,亦即通稱之純�(PURE?WATER),近來由于半�(dǎo)體制程對�(shè)計規(guī)則之需求朝更精密更�(xì)小的趨勢�(fā)�,因而對純水水質(zhì)的要求也越趨�(yán)�,在此嚴(yán)格水�(zhì)要求下所制造出來稱之超純水(Ultra-pure?water)�


          其狹義之意:為去離子之水,將水中之離�(如Na+、Ca2+、Mg2+、Al3+、C1-、F-、SO42-、NO3-、etc.)?予以去除,降低其離子濃度,提高水之電阻�(Ω·cm)�


          其廣義之意:為除了除去水中離子之�,亦將水中之SiO2,顆粒物,細(xì)�,有�(jī)�,微生物一并給予有限度的去除,使水�(dá)到完全純凈的程度,而用于電子工�(yè)之上�


          18MΩ·cm超純水制備工�


          自來水�(jìn)入原水箱,通過原水泵增壓,�(jīng)砂濾�、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到�(dá)反滲透單元,�(jīng)兩級反滲透過濾�(jìn)入EDI單元,達(dá)到電阻率15MΩ·cm�25℃)�(jìn)入純水水�。純水供水設(shè)計為循環(huán)方式,經(jīng)純水供水泵增�,通過紫外線消毒器、拋光混床Tulsimer? MB 106 UP�0.22微米過濾器接入純水供水管,到�(dá)使用�(diǎn)�


          2.1 �(yù)處理單元


          采用石英砂過�、活性炭過濾、保安過濾作為兩級反滲透的�(yù)處理�


          2.2 反滲透模塊單�


          反滲透膜是以壓力差為�(qū)動力的液相膜分離方法,可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動�,溶液中的水分子透過膜,而其它分�、離�、細(xì)�、病毒等被截留,從而實(shí)�(xiàn)脫鹽效果,達(dá)到純化目��


          整個反滲透系�(tǒng)由高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相�(yīng)的儀�、儀�、閥門、機(jī)�、管道及管件等組成;此外還有�(dú)立的化學(xué)清洗裝置�


          2.3 EDI模塊單元


          EDI技�(shù)是將膜法和離子交換法�(jié)合起來的新工�,基本原理主要包括離子交�、直流電場下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過交換作用吸附于樹脂顆粒上,再在電場作用下�(jīng)由樹脂顆粒構(gòu)成的“離子傳輸通道”遷


          移到膜表面并透過離子交換膜�(jìn)入濃�。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴�(fā)�,猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱,因此可以連續(xù)不斷地制取高�(zhì)量的純水、高純水�


          EDI系統(tǒng)由增壓泵、膜�、電源以及相�(yīng)的儀�、儀�、閥門、機(jī)�、管道等組成�


          2.4 拋光混床模塊單元


          超純水終端混床樹脂是在極其嚴(yán)格的工藝控制條件下制成的,樹脂經(jīng)過特別的處理,再生轉(zhuǎn)型已接近極限�,故具有極高的再生效率和極低的雜�(zhì)含量,并具有�(qiáng)的交換能力和很高的機(jī)械強(qiáng)�。高純水終端混床樹脂無需再生,就可廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)高純水制�;實(shí)�(yàn)室高純水;高效液相色譜用高純�;含放射物處理;藥品;半�(dǎo)體行�(yè);凝�(jié)水精制以及其它各種水處理工藝的終端混床精處理。高品質(zhì)的混床樹脂可確保出水水質(zhì)�(dá)到穩(wěn)�,產(chǎn)水水�(zhì)16~18.2MΩ,生�(chǎn)極高�(zhì)量的高純無硅純水�


          2.5 供水單元


          純水供水循環(huán)采用254nm紫外線殺�、拋光混床脫��0.22微米過濾,達(dá)到用戶的純水水質(zhì)要求�


          為保證純水的品質(zhì)以及生物�(xué)指標(biāo),在純水制備的終端設(shè)置精度為0.22μm的微濾膜過濾�,用于截留去除脫鹽設(shè)備出水中的微粒以及細(xì)菌尸體。由�0.22μm的微濾膜膜過濾器為整個脫鹽工藝的*后一道處理設(shè)�,因此又稱終端過濾器。過濾器�(nèi)裝折疊式微孔濾膜,過濾精�0.22μm,過濾器出口�(shè)置壓力表。過濾器�(jīng)過一段時間的�(yùn)行后,濾膜表面截留了大量雜質(zhì),使濾膜堵塞,導(dǎo)致工作壓力增�,當(dāng)�(jìn)出口壓力差增大到某一�(shè)定值時,更換濾��


          終端過濾器由罐體�0.22μm濾芯、壓力表組成�


          本文鏈接�
          http://www.modelling.cn/scldt/838.html
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