南京萊弗特帶你了解超純水�(shè)備的工藝
來源�純水�(shè)� 作者:南京萊弗特環(huán)??萍脊?/a> 日期�2019-05-13 07:33:17 瀏覽量:774�隨著電子工業(yè)的發(fā)�,在芯片的生�(chǎn)加工過程�,對(duì)于水�(zhì)的要求也越來越高。為了保證生�(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純?cè)牧?、高純氣�、高純化�(xué)藥品�,高純水也是其中�(guān)鍵的因素之一�
高純水系�(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純�。超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三�(gè)部分:超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管�(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)較為�(fù)雜,其又可分為:�(yù)處理、一次純水處�、超純水處理三�(gè)部分�
下面就由南京萊弗特環(huán)??萍加邢薰緸榇蠹液唵蔚慕榻B一下超純水�(shè)備的工藝�
�(yù)處理部分主要包括:沙濾、活性碳�(有的廠商在沙濾前還增�(shè)反應(yīng)�、氣浮池)。一次純水處理部分主要包括:陰陽離子交換�、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透。超純水處理部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌�、混�(MB)及終端過濾器。考慮到在向工藝設(shè)備輸送高純水過程�,輸水管道會(huì)�(duì)水質(zhì)再次造成污染,因而在FAB�(nèi)一般都�(shè)立拋光循�(huán)系統(tǒng)。拋光循�(huán)系統(tǒng)主要以MB為核�,再加上超濾�(shè)�(UF),以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程�,管�(wǎng)溶入水中的雜�(zhì)�
以上信息�南京萊弗特環(huán)??萍加邢薰?/strong>提供,本公司通過多年在中國水�(wù)�(lǐng)域的�(fā)展與潛心研究,并與高校和科研�(jī)�(gòu)長期合作,實(shí)�(xiàn)并成為了集科�、設(shè)�(jì)、生�(chǎn)、銷售為一體的多元化水處理�(shí)體高新技�(shù)企業(yè)。主要生�(chǎn)反滲透純水設(shè)�,EDI�(shè)�,EDI水處理設(shè)�,超純水設(shè)�,反滲透水處理�(shè)��,�(shè)備專線:025-58703875�
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