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          �(dāng)前位置:首頁(yè) >> 行業(yè)�(dòng)�(tài)

          玻璃光學(xué)電子半導(dǎo)�18兆歐超純水設(shè)備系�(tǒng)�(jiǎn)�

          �(lái)源:純水�(shè)�  作者:南京萊弗特環(huán)??萍脊?/a>  日期�2020-11-09 09:20:10  瀏覽量:754�

          在大型平�、玻璃光�(xué)及半�(dǎo)體制造工藝中,大約有80%以上的工藝直接或間接需要用到超純水,并且大約有一半以上工�,如硅片直接與水接觸后,緊接著就�(jìn)入高溫過(guò)�,此�(shí)水中含有的雜�(zhì)就會(huì)�(jìn)入硅片而導(dǎo)致IC器件性能下降、成品率降低。確切一�(diǎn)�(shuō),向生產(chǎn)線提供穩(wěn)定的超純水將涉及到企�(yè)的成本問(wèn)題�


          1.�(yù)處理系統(tǒng)


          �(yù)處理系統(tǒng)作為反滲透的前處�,主要目的是去除原水中的懸浮�、膠�、色�、濁度、有�(jī)物等妨礙后續(xù)反滲透運(yùn)行的雜質(zhì)�


          �(yù)處理的設(shè)備主要包括:原水箱、原水泵、多介質(zhì)�(guò)濾器、活性炭�(guò)濾器等�


          原水�


          原水首先流入原水�。原水箱�(duì)原水的供給起到緩沖作�,協(xié)�(diào)原水的供給量與原水泵的輸入量。當(dāng)原水的供�(yīng)量超�(guò)原水泵的輸水量時(shí),原水箱水滿,通過(guò)原水箱的液位元元控制使用原水供給停止。當(dāng)原水供應(yīng)量小于原水泵的輸水量�(shí),原水箱�,原水泵停止�(yùn)�,起到保�(hù)原水泵的作用�


          原水�


          用于�(duì)原水加壓,為�(yù)處理系統(tǒng)提供�(dòng)力源,該泵具有體積小,高效率,低噪音等特�(diǎn)�


          加藥系統(tǒng)�(絮凝�)


          原水中投加入絮凝劑與原水中膠體、顆粒形成絮凝體,有利于在多介質(zhì)�(guò)濾器中被�(guò)濾掉,提高過(guò)濾效�,�(jìn)一步降低出水濁�,保證RO�(jìn)水SDI�2�


          該設(shè)備占地小,安裝移�(dòng)方便。就位后,只要接上水、電,即可使�,操作管理簡(jiǎn)�,大大地減少操作人員的勞�(dòng)�(qiáng)度。藥劑的投加隨高壓水泵的啟停而自�(dòng)投加,藥劑添加量是可調(diào)��


          多介�(zhì)�(guò)濾器


          本系�(tǒng)是對(duì)原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)�(jìn)行去除,同時(shí)�(duì)原水中的濁度、色度起到降低作用,它完全可能濾掉原水帶�(lái)的顆�、藻類等可見(jiàn)��


          多介�(zhì)�(guò)濾是一種先�(jìn)的微絮凝�(guò)濾方�,佳潔提供的多介�(zhì)�(guò)濾器含有材質(zhì)各異的多層過(guò)濾介�(zhì),完全能濾除不溶于水中的雜質(zhì),保證SDI值不大于3,是后級(jí)RO的強(qiáng)有力保護(hù)�。能更好的去除水中的懸浮物或非溶解性粒子(氧化�、濁�、顆粒物等),具有低成本,操作維�(hù)、管理方便等特點(diǎn),特別是在降低原水中的濁�、污染指�(shù)等方面具有很好的效果�


          多介�(zhì)�(guò)濾器反洗周期�(shí)間為16-24小時(shí)。反洗以壓力參數(shù)�(shè)備來(lái)控制反沖洗周期,�(dāng)�(jìn)出水母管上的壓力差達(dá)�0.5kg/cm2�(shí)即停止運(yùn)行�(jìn)行反沖洗,反洗水可由單獨(dú)�(shè)置的反洗水泵供水控制和調(diào)節(jié)反洗水流量,反洗水強(qiáng)度應(yīng)使濾層膨�15-25%。反洗時(shí)送入壓縮空氣,擦洗濾�,其�(qiáng)度為30-50�/秒·米2,反洗水可用反滲透的濃水�


          活性炭�(guò)濾器


          市政自來(lái)水在�(jīng)�(guò)消毒處理�,管�(wǎng)末梢的殘余余氯是一種強(qiáng)氧化�,如果不加以去除,會(huì)�(duì)�(shù)脂和反滲透造成不可逆轉(zhuǎn)的損�.用活性炭�(jìn)行吸附處理,可以非常徹底地去除余�。活性炭不僅吸附能力�(qiáng),而且吸附容量�,其主要原因就是其多孔結(jié)�(gòu),其比表面積高達(dá)500-700m2/g。正是由于活性炭具有�(fā)�(dá)的細(xì)孔結(jié)�(gòu)和巨大的比表面積,因此可以完全吸附水中的余氯及吸附部分有�(jī)�,而且�(duì)色度、臭味也有較好的去除效果�


          2.反滲透脫鹽水系統(tǒng)


          反滲透系�(tǒng)承擔(dān)了主要的脫鹽任務(wù)。反滲透系�(tǒng)�(shè)備包括阻垢劑加藥裝置、保安過(guò)濾器、一�(jí)高壓�、一�(jí)反滲透膜組、NaOH加藥裝置、二�(jí)高壓泵、二�(jí)反滲透膜�、化�(xué)清洗系統(tǒng)��


          2.2.1阻垢劑加藥裝�


          阻垢劑加藥系�(tǒng)在反滲透�(jìn)水中加入阻垢�,防止反滲透濃水中碳酸�、碳酸鎂、硫酸鈣等難溶鹽濃縮后析出結(jié)�,堵塞反滲透膜。從而損壞膜元件的應(yīng)用特性,因此在�(jìn)入膜元件之前�(shè)置了阻垢劑投加裝�。阻垢劑是一種有�(jī)化合物質(zhì),除了能在朗格利爾指�(shù)(LSI� �2.6情況下運(yùn)行之�,還能阻止SO42-的結(jié)�,它的主要作用是相對(duì)增加水中�(jié)垢物�(zhì)的溶解�,以防止碳酸�、硫酸鈣等物�(zhì)�(duì)膜的阻礙,同�(shí)它也可以降低鐵離子堵塞膜的微��


          本系�(tǒng)推薦使用�(jìn)口PTP-0100�(fù)合阻垢劑,它具有�


          1)抑制析出作用�


          2)分散作��


          3)晶格扭曲作��


          4)絡(luò)合作��


          2.2.2 保安�(guò)濾器


          �(jīng)�(guò)前面的石英過(guò)濾器、活性炭�(guò)濾器之后,原水中大顆粒懸浮物已基本被除去,而一些小顆粒懸浮物則�(méi)有被除去。在這里,再�(jìn)行一次微�,去�5μm以上的懸浮物,以保護(hù)RO膜不被堵塞。同�(shí),一些活性炭�(xì)沫也被截留在反滲透系�(tǒng)之外。保安裝�(guò)濾器�(jìn)出口�(shè)壓力指示�,當(dāng)壓差增大到設(shè)定值時(shí)更換濾芯�


          2.2.3 NaOH加藥裝置


          在二�(jí)反滲透高壓泵前加入NaOH,用以中和水中的CO2形成易于被RO膜脫除的Na2CO3。二氧化碳有兩種效果:首先CO2和Ca2+、Mg2+形成碳酸鹽類�(jié)�,這種垢的形成與給水的離子濃度和PH有關(guān)。第�,由于CO2的電荷變化與PH值有�(guān),而其被RO和EDI的除去都依賴于其電荷,它的去除效率是有變化的。即使較低的CO2都能顯著地降低產(chǎn)品水的電阻率。所以本工藝�(shè)�(jì)了加堿調(diào)PH值技�(shù),大大提高了RO系統(tǒng)的產(chǎn)水水�(zhì),滿足EDI 裝置�(duì)其�(jìn)水水�(zhì)的要�,真正的�(fā)揮出EDI的先�(jìn)��


          2.2.4高壓�


          高壓泵是反滲透設(shè)備的主要?jiǎng)恿υO(shè)�,高壓泵�(shè)置有�(guò)熱保�(hù),泵前后分別�(shè)置低、高壓保�(hù)�(kāi)�(guān)。當(dāng)高壓泵�(jìn)水壓力低于設(shè)定值后,高壓泵停運(yùn),以保護(hù)高壓�,當(dāng)高壓泵出口壓力高于設(shè)定值后,高壓泵停運(yùn),以保護(hù)反滲透膜�


          2.2.5清洗裝置


          反滲透膜在長(zhǎng)期運(yùn)行中,表面會(huì)逐漸有�(jìn)水中存在的各種污染物的沉積而引起膜的污�,這造成系統(tǒng)性能(脫鹽率和產(chǎn)水量)的下降,組件�(jìn)出口壓差的升�;膜的定期清洗是防治膜污染的主要措施之一�


          反滲透裝置在停運(yùn)和化�(xué)清洗�,都需要�(jìn)行低壓水沖洗�


          在運(yùn)行較�(zhǎng)�(shí)間后,若壓差明顯增大,產(chǎn)水量明顯下降,則需要�(jìn)行化�(xué)清洗�


          清洗劑選用膜專用清洗藥劑,無(wú)污染、無(wú)化學(xué)藥劑殘留;清洗裝置包括清洗水�、清洗水箱以及清洗用精密�(guò)濾器等�


          2.2.6反滲透裝�


          反滲透系�(tǒng)主要去除水中溶解鹽類,同�(shí)去除一些有�(jī)大分�,前階段未去除的小顆粒等。包括:高壓�、反滲透裝�、反滲透清洗系�(tǒng)��


          �(yù)處理系統(tǒng)�(chǎn)水�(jìn)入反滲透膜組,在壓力作用下,大部分水分子和微量其它離子透過(guò)反滲透膜,經(jīng)收集后成為產(chǎn)品水,通過(guò)�(chǎn)水管道�(jìn)入后�(xù)�(shè)�;水中的大部分鹽分和膠體、有�(jī)物等不能透過(guò)反滲透膜,殘留在少量濃水�,由濃水管排出�


          在反滲透裝置停�(yùn)�(shí),自�(dòng)沖洗3-5分鐘,以去除沉積在膜表面的污�,使裝置和反滲透膜得到有效保養(yǎng)�


          反滲透膜�(jīng)�(guò)�(zhǎng)期運(yùn)行后,會(huì)積累某些難以沖洗的污�,如有機(jī)物、無(wú)�(jī)鹽結(jié)垢等,造成反滲透膜性能下降。這類污垢必須使用化學(xué)藥品�(jìn)行清洗才能去除,以恢�(fù)反滲透膜的性能?;瘜W(xué)清洗使用反滲透清洗裝置�(jìn)�,裝置包括一�(tái)清洗液箱、清洗過(guò)濾器、清洗泵以及配套管道、閥門和儀表。當(dāng)膜組件受污染�(shí),可以用它�(jìn)行RO系統(tǒng)的化�(xué)清洗�


          2.2.7 RO�(chǎn)水箱


          用于�(chǔ)存反滲透產(chǎn)�,起到緩沖和�(diào)節(jié)水量的作用,防止�(jìn)水壓力波�(dòng),保證高壓泵的安全穩(wěn)定運(yùn)�,并通過(guò)控制系統(tǒng)�(shí)�(xiàn)與高壓泵的連鎖。通過(guò)水箱的調(diào)節(jié)可保證RO系統(tǒng)在清洗時(shí)有足夠的水量供應(yīng)后段用水,實(shí)�(xiàn)24小時(shí)連續(xù)�(yùn)��


          3.EDI高純水系�(tǒng)


          EDI精處理系�(tǒng)主要功能是深一層除去水中的鹽類和離�,使水的純度提高(電阻率�15.0MΩ.CM�;該裝置�(chǎn)出水水質(zhì)�(wěn)定,�(chǎn)出的水質(zhì)的電阻率可達(dá)16.0MΩ左右�


          �(shè)備主要包括:EDI給水�、紫外線殺菌�、精密濾�、EDI 裝置��


          3.3.1紫外線殺菌器


          �(shè)置紫外線殺菌�,將水中余留的少量細(xì)菌殺�,確保�(jìn)入EDI系統(tǒng)的細(xì)菌指�(biāo)�(dá)到�(jìn)水要�。其紫外線波�(zhǎng)�254nm,照射強(qiáng)�30000μws/cm2,使用壽命大�8000 h,殺菌率>99%�


          紫外線殺菌的特點(diǎn)是:殺菌能力�(qiáng),接觸時(shí)間短:設(shè)備簡(jiǎn)單,操作管理方便,處理時(shí)不改變水的物理和化學(xué)性質(zhì);處理后的水�(wú)色、無(wú)�、無(wú)中毒的危�;不�(huì)增加像氯氣殺生時(shí)出現(xiàn)的氯離子,因此不�(huì)因帶入附加物而造成二次污染�


          3.3.2精密�(guò)濾器


          0.22μm �(guò)濾器的作用是截留�(jīng)紫外線殺菌器殺死的細(xì)菌尸�,防止�(jìn)入EDI系統(tǒng)。過(guò)濾器中的濾芯,當(dāng)�(guò)濾器�(jìn)出口壓差大于�(shè)定值(通常�0.07�0.1Mpa)時(shí)�(yīng)�(dāng)更換。安裝濾芯時(shí)�(yīng)上下�(duì)�,否則會(huì)損壞濾芯,更�(yán)重的�(huì)失去�(guò)濾作用�


          3.3.3 EDI裝置


          EDI裝置是應(yīng)用在反滲透系�(tǒng)之后,取代混合離子交換床的成熟技�(shù)具有�(chǎn)水品�(zhì)�(wěn)定,�(yùn)行費(fèi)用低,操作管理方便。占地面積小及無(wú)有害廢水排放等優(yōu)�(diǎn)。超純水制備工藝的發(fā)展方�,已被全世界主要水處理工程公司所�(rèn)�。自1986年EDI技�(shù)工業(yè)化以�(lái),已有數(shù)千套EDI投入支行,尤其在制藥、半�(dǎo)�、電力和光電等工�(yè)中得到了非常廣泛的應(yīng)��


          EDI正常�(yùn)行的條件�


          以下是保證EDI正常�(yùn)行的條件。為了使系統(tǒng)�(yùn)行效果更�,系�(tǒng)�(shè)�(jì)�(shí)�(yīng)適當(dāng)提高這些條件�


          ★給水:RO純水,一般水的電�(dǎo)率為4-30us/cm�


          ★PH�5.0-8.0(在此PH條件�,水硬度不能太高)


          ★溫度:5-35�


          ★�(jìn)水壓力:蕞大�4kg/cm2(60psi),蕞小為1.5kg/cm2(25psi)�


          注意:組件壓力損失取決于流量和水��


          EDI組件�(biāo)�(zhǔn)配置�


          ★出水壓力:濃水和電極水的出口壓力必須低于產(chǎn)品的出口壓力�


          ★硬度(以CaCO3�(jì)):蕞大�1.0ppm,建議采�0.1ppm�


          ★有�(jī)物:蕞大�0.05ppm�


          ★氧化劑:蕞大為0.05ppm(CL2��0.02ppm�03��


          ★變�(jià)金屬:蕞大為 0.01 ppm Fe�


          ★二氧化硅:50-150ppb�


          ★二氧化碳CO2的總量:二氧化碳含量和PH值將明顯影響�(chǎn)品水電阻�。在大于10ppm�(shí)般應(yīng)在EDI�(shè)備前安裝脫氣裝置�


          4.拋光混床(SMB)系�(tǒng)


          �(shè)置拋光混床是為了更好地降低EDI系統(tǒng)�(guò)程中未脫盡的�(yáng)離子、陰離子,防止管路系�(tǒng)的二次污�,滿足生�(chǎn)給水的需�,保證出水電阻率�17.5-18.0MΩ.cm。拋光混床內(nèi)裝填的樹(shù)脂為核級(jí)�(shù)�,失效后�(wú)需再生,直接更��


          在后�(xù)的水處理工藝中推薦采用拋光混合離子交換系�(tǒng)。這樣,一方面既可�(fā)揮樹(shù)脂交換容量大、無(wú)需再生等優(yōu)越�,另一方面有利于保證出水水�(zhì)(出水電阻率�17.5-18.0MΩ),降低�(shè)備運(yùn)行成��


          終端�(guò)濾器


          終端采用�(guò)濾精度為0.1微米的終端過(guò)濾裝置,以截留水中的微細(xì)顆粒和細(xì)菌尸�,保證出水的顆粒物含量指�(biāo)滿足要求。該裝置濾芯采用0.1μm�(guò)濾芯,并且�(guò)濾器罐體采用不銹鋼材�(zhì)�


          超純水的�(chǔ)�、分配及滅菌


          �(duì)于一�(gè)有經(jīng)�(yàn)的水處理公司�(lái)�,確定科�(xué)合理的純水制備工藝流�,才能制備出既可以達(dá)到用戶所需純水的化�(xué)指標(biāo),又能滿足其物理�(zhì)量標(biāo)�(zhǔn)的純�。實(shí)踐證明,如果出水水質(zhì)不合�,多�(shù)情況出現(xiàn)在純水在�(chǔ)存及分配�(guò)程中的細(xì)菌二次污�??茖W(xué)的設(shè)�(jì)純水�(chǔ)存和分配二環(huán)節(jié),是保證純水不受二次污染的重要手�。為�,佳潔設(shè)�(jì)了真正的大循�(huán)供水方式,設(shè)�(jì)�20-30%的循�(huán)量,且回水管路加裝回水紫外線,可有效的預(yù)防微生物污染。大循環(huán)管道采用低溶出物的C-PVC材質(zhì),減少純水在輸送過(guò)程中的微離子析出�


          本文鏈接�
          http://www.modelling.cn/scldt/840.html
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